C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current 本スタンダードは，Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014年8月25日，global

本スタンダードは，Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014年8月25日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2014年11月にwww

and valves)

The scope of this Specification is all grades of methanol used in the semiconductor industry

OC（オリエンテーションコーナ）により識別していた情報に加え，基板ごとのID等の情報を加えることができる。

Each method provides a measure of the amount of material that is removed from a substrate during a controlled chemical reaction sequence

C05300 - SEMI C53 - Specifications for Dimethyl Sulfoxide (DMSO) [Grades 1 and 2] StdDcs-Current 本スタンダードは，Liquid Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2014年8月25日，globalNOTICE: This Document was reapproved with minor editorial changes. The purpose of this Document is to standardize requirements for dimethyl sulfoxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown to give statistically valid results. Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemicals