F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Revision:SEMI F87-0304 - Superseded 本文書における計量の標準単位としては，国際単位系（SI）が使用される。米国常用単量は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められている。

本文書における計量の標準単位としては，国際単位系（SI）が使用される。米国常用単量は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められている。

macroscopic defects such as chips

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本文書は，適用可能なSEMI「S」シリーズの文書または評価購入者によって要求されたときに，この情報をどのように伝達すべきかに関するガイダンスを提供する。

and micro-bump are developed to ensure high-yield of the middle-end process

F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Revision:SEMI F87-0304 - Superseded 本文書における計量の標準単位としては，国際単位系（SI）が使用される。米国常用単量は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められている。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 This Standard establishes the properties and physical dimensions of two port components for 1. 125 inch type surface mount gas distribution system. 2 Scope 2. 1 This Standard includes common requirements,